單晶爐改造方案

一、方案

方案：我們目前采用的方案是：更改爐底與排氣結構，增加延長副室段（增加單根晶棒的隔離長度，對應的籽晶繩也要加長），增加底部加熱電源，增加底部加熱器（含銅電極及水冷電纜等配  套件），增加水冷熱屏裝置,設計26寸降氧熱場。主要有以下幾點優點：

A、將側排氣改成底排氣后改善了連續幾根拉晶工藝過程中排氣管容易堵塞現象，將一爐幾根工藝變得簡單易行；

B、增加底部加熱電源及底部加熱器，利用降氧熱場可以改善晶體頭部氧施主問題，頭部氧含量低于16ppma；

C、熱場結構與水冷屏有機統一，熱場梯度，利于成晶，提升晶體生長速度，降低等徑時間，單產；

D、采用新熱場，由于有底部加熱裝置的存在，可以將坩堝位置降低很多，從而避免對投料的影響，且在第二根第三根等復投料過程中，可以降低坩堝高度，避免二次加料產生濺硅現象的發 生。

以上方案詳細闡述了各自的特點，從一爐一根到一爐多根的除了更改及增加硬件外，對應的生產工藝也要隨之變動。只有二者相結合才能達到產品質量、產能及降低生產成本的目的。

95型單晶爐改造后有以下幾點優勢：

1、等晶拉速大于1.4mm/min（平均拉速）；

2、質量改善：單晶頭部氧含量低于16ppma，可消除同心圓、黑芯片等影響轉換效率現象；

3、綜合以上兩點的成本優勢，方棒非硅成本可以在60元/kg(折算重量)左右；

4、實際拉晶過程如下（排除引放不成功及斷棱問題）：

二、改造前后數據對比：（說明：新式95爐均按改造后的標準制造）